最近，全球光刻機大佬ASML給美國的工程陶瓷企業(yè)CoorsTek頒了一個卓越供應(yīng)商獎。頒獎是歐美大企業(yè)的常見行為，用以表達(dá)對上游供應(yīng)商準(zhǔn)時提供令人滿意貨物的認(rèn)可，有的還包括資金或?qū)嵨镏С帧?/p>
在光刻和晶圓檢驗中會用到諸多陶瓷元件，軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯、加熱、承載、固定，幾乎無所不能，無所不在。在CoorsTek而言，其產(chǎn)品有包括物理、化學(xué)、原子層沉積用襯板、過濾器等組件;等離子蝕刻設(shè)備元件，如用于改善晶圓蝕刻均勻性的聚焦環(huán)、氣體噴嘴、腔體封蓋等;快速熱處理和外延加工元件;離子注入設(shè)備元件，如陶瓷空氣軸承等;光刻和晶圓檢測元件，如夾頭、晶圓載體等;低壓化學(xué)氣相沉積及傳熱組件，如擋板、支架、噴頭等;化學(xué)機械拋光(CMP)用拋光臺和拋光板;各種半導(dǎo)體部件加工時的提升、加熱、末端接觸部件，等等……它們按用途需要具備抗靜電、耐高溫、耐腐蝕、不膨脹等特點。
據(jù)小編初步統(tǒng)計，僅CoorsTek披露的光刻機用先進(jìn)陶瓷部件就近30種，其中尤以碳化硅(直接燒結(jié)、重結(jié)晶、氣相沉積)為主，還包括氮化硅、氮化鋁、剛玉、氧化釔、高純石英等多種材質(zhì)及形式的超純及復(fù)合材料。而ASML的陶瓷部件供應(yīng)商當(dāng)然不止CoorsTek一家，部件也遠(yuǎn)不止幾十種。隨著我國光刻機攻堅征途不斷前行，當(dāng)然會給先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)帶來眾多機遇!
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